Инновационный материал для

DuPont Engineering Polymers, Ньюарк, Делавэр

Детали Vespel изготовлены компанией DuPont из уникального полимера, который был назван решением проблем полупроводниковой промышленности. Vespel SPC — это новое поколение полиимидных деталей и форм Vespel для производства полупроводников с улучшенными характеристиками и дополнительными преимуществами в камерах травления и других требовательных средах обработки пластин.

По словам доктора Гэри Пуви из Lam Research Corp., разработчика и производителя технологического оборудования, используемого при производстве интегральных схем, Vespel обладает несколькими характеристиками, которые имеют решающее значение для внутрикамерных применений. Vespel aElectronics Tech Briefs, июнь 1999 г. выдерживает высокие температуры, устойчив к циклическому нагреву и сохраняет форму под давлением. Он также очень стабилен в плазменной среде и демонстрирует превосходную механическую прочность. Наконец, поскольку Vespel не передает тепло, он не так легко притягивает отложения, как другие материалы, что приводит к большей чистоте в камере.

Доктор Рэй ДеКолибус, разработчик состава Vespel SCP, подтверждает, что уровни загрязнения ионами металлов в Vespel, как правило, очень низкие по сравнению с другими полимерами. Веспел очень устойчив к окислению даже при очень высоких температурах и обладает повышенной устойчивостью к плазме, что особенно важно для производителей полупроводников.

Крупнейшим в настоящее время потребителем Vespel в полупроводниковой промышленности является сегмент травления, где он используется для изготовления зажимных колец пластин, газораспределительных пластин, изоляционных колец, вкладышей камер, краевых колец, ограничительных колец, винтов и зажимов, а также компонентов подъемных штифтов. Эти детали Vespel способствуют повышению производительности матрицы за счет повышения однородности травления и уменьшения краевого эффекта. Веспел также используется в процессах PVD, CVD, ионной имплантации и других процессах.

Благодаря уникальному сочетанию свойств Веспел используется для замены кварца в различных полупроводниковых приложениях. Многие производители полупроводников успешно заменяют кварц Веспелом, не внося никаких изменений в условия обработки, одновременно видя преимущества для своих общих процессов изготовления пластин. Например, в зажимных кольцах для пластин большая прочность Веспела предотвращает разрушение, которое может произойти при использовании кварца. Покрывающие кольца и кольца фокусировки также были переделаны из материала Vespel, чтобы воспользоваться преимуществами его превосходной однородности и чистоты травления.

В недавно задокументированных применениях детали из Веспела служат в три раза дольше, чем стандартные полиимиды. Благодаря своей долговечности, надежности, длительному сроку службы, сокращению затрат на техническое обслуживание и увеличению производительности, он помогает производителям полупроводников снизить стоимость владения современными системами травления и плазменными системами высокой плотности следующего поколения. На момент первоначальной покупки и в течение всего срока службы детали стоимость деталей Vespel вполне конкурентоспособна по сравнению с кварцем и керамикой.

Чтобы удовлетворить потребность в более крупных деталях, которые могут выдерживать агрессивные условия камеры и обеспечивать чистоту процесса, DuPont предлагает Vespel диаметром от четверти дюйма до 22 дюймов. Детали большого размера идеально подходят для больших ограничительных колец, защитных колец, колец фокусировки и различных других целей.

Для получения дополнительной информации посетите веб-сайт DuPont Semiconductor Enterprise: www.dupont.com/semiconductors или веб-сайт Vespel: www.dupont.com/enggpolymers/americas/products/vespel.html или позвоните по телефону 1-800-972-7252. .

Эта статья впервые появилась в июньском выпуске журнала Electronics Tech Briefs Magazine за 1999 год.

Больше статей из архива читайте здесь.

ПОДПИСАТЬСЯ